Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Берлин Е.В., Сейдман Л.А.سال:
2010
ناشر کتب:
Техносфера
زبان:
russian
صفحات:
544
ISBN 10:
5948362221
ISBN 13:
9785948362229
سیریز:
Мир материалов и технологий
فائل:
PDF, 49.95 MB
IPFS:
,
russian, 2010